電子制造業(yè)車間無塵室及潔凈度特點 EPURZAN翼展
發(fā)布者:蘇州翼展凈化科技瀏覽次數(shù):發(fā)布時間:2022-06-28
電子制造業(yè):包括電子設(shè)備(計算機、電視、通訊設(shè)備、電子控制、電子儀器等)、電子元件(電阻、電容、電感器、印刷線路板等)、電氣器件(接插元件、電子管、晶體管、集成電路等)以及其原材料(高頻磁性材料、高頻絕緣材料、半導(dǎo)體材料等)的工業(yè)生產(chǎn)企業(yè)。隨著計算機、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展,推動了電子制造業(yè)的飛速發(fā)展,也帶動了潔凈室技術(shù)的發(fā)展,同時對潔凈室的設(shè)計提出了更高的要求,電子制造業(yè)的無塵車間設(shè)計是一項綜合的技術(shù),只有充分了解電子制造業(yè)的無塵車間設(shè)計特點,做到設(shè)計合理,才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低,提高生產(chǎn)效率。
以上這些電子行業(yè)的生產(chǎn)工藝對環(huán)境潔凈度有不同程度的要求,從潔凈度100級、1000級到萬級、十萬級的電子無塵車間都有廣泛的應(yīng)用,主要控制粒徑0.1-0.5UM的塵埃及細菌污染物,例如線路板PCB生產(chǎn)的照相、制版、SMT、干膜車間,芯片生產(chǎn)的蝕刻、離子注入、CMP車間;封裝企業(yè)的化片、鍵合車間;電子儀器微電子的裝配車間;半導(dǎo)體材料生產(chǎn)的拉單晶、清洗、外延車間;液晶顯示器生產(chǎn)的陳列板、成盒、STN-LCD車間;鋰電子生產(chǎn)的干工藝車間;電容電阻生產(chǎn)的絲印、流延車間;光導(dǎo)纖維的拉絲、光盤制造車間等等。
電子廠無塵室 I EPURZAN翼展
電子制造業(yè)潔凈室的特點:
潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。
1、電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)。
2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。
4、電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的較大值:
(1)補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
(2)保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
(3)電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫斷電保護,若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護,寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。無塵室的送風(fēng)量,應(yīng)取下面三項較大值:保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量;根據(jù)熱,濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量;向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量