潔凈廠房排氣系統(tǒng)基本要求
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數(shù)：發(fā)布時(shí)間：2024-02-28
由于電子工業(yè)潔凈廠房各類工藝排氣中的組分十分復(fù)雜，有的工序或設(shè)備的工藝排氣中有害物質(zhì)的濃度還可能較高，因此在國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB 50472） 中對排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)作了如下規(guī)定：
1.排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時(shí)，其排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備應(yīng)設(shè)備用，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí)，其排風(fēng)機(jī)應(yīng)設(shè)備用，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。
2.排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，其風(fēng)量應(yīng)按在正常運(yùn)行和事故情況下，風(fēng)管內(nèi)這些物質(zhì)的濃度不大于爆炸下限的 20%計(jì)。
3.排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵潔凈廠房的排氣設(shè)施的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。氣管路、應(yīng)保持相對于路由區(qū)城一定的負(fù)壓值，對排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險(xiǎn)性物質(zhì)的排放。
上述規(guī)定是依據(jù)近年來電子工業(yè)潔凈廠房工程的設(shè)計(jì)實(shí)踐和已經(jīng)投人運(yùn)行的相關(guān)工程項(xiàng)目的安全可靠運(yùn)營的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)，并且參照了國外相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)要求。在美國消防協(xié)會 (NFPA) 2018年版的 《半導(dǎo)體制造的消防標(biāo)準(zhǔn)》(NFPA 318） 中要求：“排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有自動(dòng)應(yīng)急電源；應(yīng)急電源工作時(shí)，應(yīng)達(dá)到不低于排氣系統(tǒng) 50%的容量；使用可燃、易燃?xì)怏w或化學(xué)品的設(shè)備，應(yīng)設(shè)有可燃、易燃?xì)怏w或蒸汽濃度低至爆炸下限 20%以下的排氣系統(tǒng)。
據(jù)了解，國內(nèi)已經(jīng)建成投運(yùn)或正在建設(shè)的微電子生產(chǎn)用潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險(xiǎn)的可燃、易燃?xì)怏w或蒸汽和粉塵的排風(fēng)系統(tǒng)，為確保潔凈廠房的安全可靠性、排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)量均應(yīng)達(dá)到在正常運(yùn)行或事故情況下，排風(fēng)管內(nèi)這些有害物質(zhì)的濃度不得大于該物質(zhì)爆炸下限的20%計(jì)。為此在排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)有吸人房間空氣的自動(dòng)裝置，并在排風(fēng)管內(nèi)設(shè)有氣體濃度報(bào)警裝置，當(dāng)排風(fēng)系統(tǒng)中的有害物質(zhì)派度超過規(guī)定值時(shí)，在進(jìn)行報(bào)警的同時(shí)，自動(dòng)開啟吸人空氣降低排風(fēng)中有害物質(zhì)的裝置，使排風(fēng)系統(tǒng)總是不會因意外火源引發(fā)著火事故潔凈室（區(qū)）及其上、下技術(shù)夾層均具有氣密性良好的要求，如果在潔凈廠房中含有有毒可燃、 易燃物質(zhì)的排氣系統(tǒng)一旦發(fā)生泄漏事故將會帶來十分嚴(yán)重的安全隱患，一旦超出規(guī)定限值可能使作業(yè)人員中毒甚至發(fā)生著火事故，所以相關(guān)規(guī)范中規(guī)定含有毒和易燃、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)機(jī)、處理設(shè)備均應(yīng)設(shè)置備用電源、備用風(fēng)機(jī)，以防止排氣系統(tǒng)不正常停機(jī)事故的發(fā)生；并且這類排風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)應(yīng)保持相對于風(fēng)管路由區(qū)城一定的負(fù)壓值，以避免發(fā)生泄漏事故。不僅如此，在相關(guān)規(guī)范中還規(guī)定在使用有毒、可燃、易燃、有爆炸危險(xiǎn)物質(zhì)的生產(chǎn)工藝設(shè)備的‘氣體分配箱”、排風(fēng)管道連接處和相應(yīng)的潔凈室（區(qū)）的室內(nèi)環(huán)境設(shè)有氣體泄漏報(bào)警裝置，為避免因危險(xiǎn)物質(zhì)的泄漏超過規(guī)定限值引發(fā)安全事故的發(fā)生，并應(yīng)設(shè)置氣體報(bào)警裝置與排風(fēng)風(fēng)機(jī)的自動(dòng)連鎖控制。
潔凈廠房排氣 （廢氣）系統(tǒng)的設(shè)計(jì)建造安全技術(shù)措施主要有如下基本要求。
①排氣系統(tǒng)應(yīng)具有連續(xù)不斷運(yùn)行的功能，這是確保潔凈廠房安全穩(wěn)定運(yùn)行的重要條件之一，也是保持潔凈室的潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)過程不被玷污的必需的技術(shù)措施。如果潔凈廠房內(nèi)某排氣系統(tǒng)因安全技術(shù)措施出現(xiàn)故障導(dǎo)致其中斷運(yùn)行，將會使該排氣系統(tǒng)涉及的潔凈室（區(qū)）及其范圍內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)生的有害物質(zhì)散發(fā)到相關(guān)房間內(nèi)，其嚴(yán)重后果是不言而喻的。此，“連續(xù)運(yùn)行”是潔凈廠房排氣系統(tǒng)首要的安全技術(shù)措施基本要求。
② 潔凈廠房中各類排氣應(yīng)嚴(yán)格遵守 “不準(zhǔn)混排”或應(yīng)按廢氣種類和不相容原則分類、分系統(tǒng)設(shè)置。這里所指的 “不相容”，Cincompatible）是化學(xué)物質(zhì)經(jīng)由非故意的結(jié)合，可能產(chǎn)生劇烈的反應(yīng)或無法控制的狀況，其釋放的能量可能引起危險(xiǎn)。在電子工業(yè)集成電路、液晶顯示器面板等產(chǎn)品生產(chǎn)中，由于其生產(chǎn)過程需用數(shù)十種不同物化性質(zhì)的化學(xué)品、特種氣體，因此在這類潔凈廠房內(nèi)的排氣系統(tǒng)必須十分嚴(yán)格執(zhí)行“不準(zhǔn)混排”“按不相容原則分類、分系統(tǒng)”，以確保潔凈廠房的安全穩(wěn)定運(yùn)行。例如在 GB 51401 中明確規(guī)定：氮氧化物度氣、高濃度酸皮氣應(yīng)單獨(dú)設(shè)置皮氣系統(tǒng)，外延尾氣處理系統(tǒng)應(yīng)單獨(dú)設(shè)置等
③各類排氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)建造和運(yùn)行應(yīng)具有可靠的防止泄漏/滲漏的技術(shù)措施。簽于各類排氣系統(tǒng)中排出的介質(zhì)分別或同時(shí)具有易燃易爆、毒性、腐蝕性、氧化性和室息性等，一旦從排風(fēng)系統(tǒng)泄漏到所涉及的環(huán)境，將可能引發(fā)火災(zāi)、爆炸、中街等危區(qū)生命財(cái)產(chǎn)的重大災(zāi)難性事故，因此防泄漏/滲漏是排氣系統(tǒng)安全技術(shù)措施的重要基本要求。
④依據(jù)排氣系統(tǒng)排出廢氣的有害物質(zhì)，例如有火災(zāi)、爆炸、有毒等危及生命財(cái)產(chǎn)安全的物質(zhì)，在生產(chǎn)工藝設(shè)備排出口或在現(xiàn)場排氣處理裝置(POU） 等排出口，進(jìn)入排風(fēng)管道處的有告濃度應(yīng)有嚴(yán)格限制，以確保排風(fēng)管道至排人大氣的排氣間的路由管道、設(shè)備區(qū)其周圍環(huán)境的安全。在標(biāo)淮規(guī)范中明確規(guī)定的有．燒類尾氣處理系統(tǒng)處理后的燃燒爆炸性氣體濃度應(yīng)保持在萁燃燒范圃卞限值的 25%以下，為防止運(yùn)行過程中排氣管道內(nèi)“超過限值”，通常應(yīng)設(shè)有稀釋措施；當(dāng)采用轉(zhuǎn)輪濃縮處理揮發(fā)性有機(jī)物廢氣時(shí)，濃縮后的揮發(fā)性有機(jī)物廢氣濃度不應(yīng)大于燃燒范圍下限的 50%等
